影响脱硝设备性能的几个关键要素有：反响温度、烟气速度、催化剂的类型、构造和外表积以及烟气/氨气的混合效果。
催化剂是SCR系统中的主要局部，其成分组成、构造、寿命及相关参数直接影响SCR系统的脱硝设备效率及运转情况。不同的催化剂适合的反响温度也差异各异。反响温度不只决议反响物的反响速度，而且决议催化剂的反响活性。假如反响温度太低，催化剂的活性降低，脱硝效率降落，则达不到脱硝的效果，此外催化剂在低温下持续运转，还将招致催化剂的永世性损坏；假如反响温度太高，则NH3容易被氧化，生成NOx的量增加，以至会惹起催化剂资料的相变，招致催化剂的活性退化。在相同的条件下，反响器中的催化剂外表积越大，NO的脱除效率越高，同时氨的逸出量也越少。
NH3输入量必需既保证SCR系统NOx的脱除效率，又保证较低的氨逃逸率。只要气流在反响器中速度散布平均及活动方向调整得当，NOx转化率、氨逃逸率和催化剂的寿命才干得以保证。采用合理的喷嘴格栅，并为氨和烟气提供足够长的混合烟道，是使氨和烟气平均混合的有效措施，能够防止由于氨和烟气的混合不均所惹起的一系列问题。
氨的氧化将一局部氨转化为其它的氮化合物。可能的反响有：
4NH3 + 5O2 → 4NO+ 6H2O
4NH3 + 3O2 → 2N2+ 6H2O
2NH3 + 2O2 → N2O+ 3H2O
影响氨氧化反响的要素有：催化剂成分、烟气中各组分和氨的浓度、反响器温度等。普通以为在钒催化剂上，当温度超越 399℃时，氨的氧化对脱硝设备过程才有显著影响。
其危害：首先，到达给定的 NOx脱除率需求的氨供应率将增加，需求添加额外的复原剂以交换被氧化的氨；第二，氨的氧化减少了催化剂内外表吸附的氨，可能影响 NOx脱除，可能招致催化剂体积缺乏；此外，由于氨不是被氧化就是与 NOx反响或者作为氨逃逸从反响器中排出，因而氨的氧化使 SCR工艺过程的物料均衡变得复杂。因而， 脱硝设备系统需求装置氨逃逸的丈量仪器。
